JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺

產品分類：壓電陶瓷元件

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。 1、典型應用光學對準納米壓印顯微成像/操縱表面檢測高密度存儲測量技術半導體加工2、技術特點亞納米級分辨率

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JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺

JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。

1、典型應用

光學對準

納米壓印

顯微成像/操縱

表面檢測

高密度存儲

測量技術

半導體加工

2、技術特點

亞納米級分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性較鏈導向

可正置/倒置

超高真空兼容性

高速、高動態

多運動模式：定位/掃描

3、2D尺寸圖

4、規格參數

	JKZC-3CD-300	單位
運動觸數	3
驅動類型	壓電陶瓷
閉環行程	300x300x300	μm
閉環分辨率	2	nm
重復定位精度	10	nm
XY/Z向上的無負載諧頻率	600/600/550	Hz
最大負載	40	g
傳感器類型	電容傳感器
尺寸(LxWxH)	170x170x36.5	mm
白重	1778	g
電氣接口	D-sub9/可定制
工作泗度	-20-80	℃
屏蔽線纜長度	2	m
材料	鋁合金

5、適配控制器

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