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JKZC-NHR高精度角度臺

產(chǎn)品分類：壓電陶瓷元件

JKZC-NHR高精度角度臺JKZC-NHR高精度角度臺專用10范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動，基于粘滑仿生運動原理及特殊設計的驅(qū)動和納米伺服技術，具有納米級重復定位精度，可實現(xiàn)運動行程士5的俯仰調(diào)節(jié)。 1、典型應用掃描電鏡(SEM)樣品操縱主動光學超分辨成像樣品移動大范圍電子束直寫(EBL)微納裝備及制造集成電路制造與檢測高真空樣品精度對準及調(diào)姿納米聚焦與掃描顯微及納米CT2、技術特點超長運動行程：士

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產(chǎn)品詳情

JKZC-NHR高精度角度臺

JKZC-NHR高精度角度臺專用10°范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動，基于粘滑仿生運動原理及特殊設計的驅(qū)動和納米伺服技術，具有納米級重復定位精度，可實現(xiàn)運動行程士5°的俯仰調(diào)節(jié)。

1、典型應用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動光學

超分辨成像樣品移動

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對準及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術特點

超長運動行程：士5°

高分辨率：閉環(huán)分辨率為0.0175μrad

運動速度：可達3°/s

負載：500g

超高真空兼容性

運動模式：支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結構緊湊，高可靠性

模塊化設計，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-NHR-60.5*	JKZC-NHR-77.5*	單位
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃柵尺
行程	±5		°
最大負載	500		g
旋轉(zhuǎn)中心(工作平臺)	60.5	77.5	mm
驅(qū)動類型	壓電陶瓷
角速度	3		°/S
最小步長	0.5		μrad
自重	150	150	g
尺寸(LxWxH)	50x50x16.5	50x50x16.5	mm
工作溫度	10~50		℃
電氣接口	D-sub9
線纜長度	2		m
材料	鋁合金/鈦合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10^-9)		mbar

5、適配控制器

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