PZT 壓電陶瓷材料極化與壓電性能綜合測試案例
- 發表時間:2026-03-11
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PZT 壓電陶瓷材料極化與壓電性能綜合測試案例
PZT 壓電陶瓷材料極化與壓電性能綜合測試案例
***高校材料實驗案列
(使用設備:ZJ-3 精密 D33 測試儀 + PZT-JH10/4 壓電極化裝置 + JKZC-YDZK03A 壓電阻抗分析儀)
一、實驗目的
對燒結、被銀后的 PZT-5H 壓電陶瓷圓片進行高溫硅油極化,并系統測試壓電常數 d33、諧振 / 反諧振頻率、介電常數、機電耦合系數 kp、機械品質因數 Qm,完成材料壓電性能完整表征。
二、實驗樣品與設備
· 樣品:PZT-5H 壓電陶瓷,φ10 mm×1 mm,雙面燒銀電極
· 極化設備:PZT-JH10/4 壓電極化裝置(10 kV/4 工位,硅油浴)
· d33 測試:ZJ-3 精密 D33 測試儀(準靜態,量程 ×1 檔:10–2000 pC/N)
· 阻抗 / 介電測試:JKZC-YDZK03A 壓電阻抗分析儀
三、實驗流程
1. 樣品預處理
1. 檢查電極完整、無短路、無掉銀
2. 無水乙醇擦拭,烘干,室溫靜置
2. 高壓極化(PZT-JH10/4)
1. 向極化缸注入絕緣硅油,浸沒樣品架
2. 將樣品垂直放入夾具,保證電極接觸良好
3. 關閉缸蓋,設置參數:
o 溫度:100℃
o 極化場強:3.0 kV/mm
o 保溫極化時間:30 min
4. 啟動加熱,到達溫度后緩慢升壓
5. 極化結束保壓降溫至<50℃,降壓、斷電、取出樣品
6. 樣品去油清潔,室溫放置 24 h后測試
3. 壓電常數 d33 測試(ZJ-3)
1. 開機預熱 30 min,用標準片校準
2. 量程選 **×1 檔 **
3. 樣品置于測試頭中心,保證垂直受力
4. 輕按測試鍵,讀取穩定數值
5. 每片測3 點取平均,記錄極性
4. 阻抗與機電參數測試(JKZC-YDZK03A)
1. 儀器開路 / 短路校準
2. 樣品接入測試夾具,設置測試頻率:20 Hz–5 MHz
3. 啟動掃頻,自動獲取:
o 諧振頻率 Fs、反諧振頻率 Fa
o 自由電容 CT、介電常數 εr
o 機電耦合系數 kp
o 機械品質因數 Qm
4. 導出數據與曲線
四、典型測試結果(示例)
參數 | 測試值 | 單位 |
d33 | 620–650 | pC/N |
εr | 3800 | — |
kp | 0.60 | — |
Qm | 65 | — |
Fs | 215 | kHz |
五、結論
本案例采用PZT-JH10/4 極化 + ZJ-3 測 d33 + JKZC-YDZK03A 阻抗分析的標準流程,可穩定、高效完成 PZT 系列壓電陶瓷的極化處理與全參數表征,數據滿足材料研發、工藝優化、出廠檢驗與科研論文使用
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